压电驱动器布置对光栅拼接误差的影响

？分析了两种光栅拼接调整机构（三角形和l形），利用有限元分析软件对这两种光栅调整机构进行了模态分析和优化分析设计。相同光栅尺寸下（以口径为450mm×420mm×60mm光栅为例），驱动器三角形分布的固有频率与l形分布的固有频率相差无几，一阶频率分别为58.816hz和58.864hz。对两种驱动器布置方式引入的误差进行了分析比较，计算结果表明:三角形调整机构的最大误差比l形的大，同时三角形分布控制算法较l形的复杂。在主动控制中三角形模型误差迭代次数多，不利于控制。因此l形的压电驱动器布置方式优于三角形。