功率谱密度的数值计算方法

？采用功率谱密度psd(powerspectraldensity)作为大尺寸光学元件表面质量的评价标准，对其定义及计算普适公式及方法进行了详细的分析推导，给出了被测样品的计算结果，并就在不同条件下计算平均psd的方法和结果进行了分析比较和讨论。