光电效应光位置检测器的性能分析

？本文介绍了几种同步辐射光源常用的光电效应光位置检测器，对其主要性能（如灵敏度、零位偏差和线性范围）进行了理论分析和比较，给出了计算机模拟结果，分析了加工误差对检测器性能的影响，为光位置检测器的设计提供了理论依据，并提出了一种改良型的光电效应光位置检测器。