一台入射距离为155mm的xuv平场光谱仪

？利用光路追踪程序对不同入射距离的变栅距平场光栅的成象进行了研究和设计。在此基础上研制了一台与传统平场光栅谱仪不同的入射狭逢到光栅中心距离为155mm的掠入射平焦场谱仪。该谱仪的波段范围为4~40nm，光谱分辨率为0.01nm。利用该谱仪成功地获得了ti元素的激光等离子体光谱。