df化学激光窗口低损耗增透膜

？表述了df激光波段采caf2和硅窗口减反射膜系的结果。分析了设计多层ar膜的方法并给出用znse/ybf3材料组合的双层和五层ar膜系。计算了各种膜系的理论性能。研究了膜层淀积工艺技术，对于caf2和硅窗口，在df激光波段实验透过率分别为99.54%和99.8%，镀ar膜caf2窗口能承受4.3kw/cm2的连续波df激光辐射。