超高阈值pick-off反射镜的研制

？采用水中抛光技术抛制了90mm×60mm×10mm的k9玻璃基片，表面粗糙度达1nm。在aps1504镀膜机上，摸索了电子束蒸发镀膜的最佳工艺条件，较稳定地在该超光滑玻璃表面上镀制了对波长1054nm、入射角45°、反射率r≥99.5%的反射膜。膜层的抗激光损伤阈值可达26j/cm2(1054nm,1ns)，镀膜后该玻璃基片反射波前可达l/10(p-v)，最终制备了超高阈值pick-off反射镜。