电子束在vo2薄膜中引起的价态、相结构和光学性能的改变

？利用能量为1.7mev,注量分别为1.25×1013/cm2,1.25×1014/cm2,1.25×1015/cm2的电子束辐照vo2薄膜，采用xps,xrd等测试手段对电子辐照前后的样品进行分析，并研究了电子辐照对样品相变过程中光透射特性的影响。结果表明电子辐照引起vo2薄膜中v离子出现价态变化现象，并使薄膜的x射线衍射峰发生变化。电子辐照在样品中产生的这些变化显著改变了vo2薄膜的热致相变光学特性。