单发实验测量软x射线多层膜反射镜反射特性

？提出了一种单发实验测量软x射线波段多层膜反射镜反射特性的简易方法。实验采用激光等离子体软x射线源作为光源，用平焦场光栅谱仪分光，在光路中引入掠入射镜以消除高级次谱的影响，用软x光ccd记录，在一发激光打靶实验中，测量了设计中心波长为13.9nm的mo/si多层膜反射镜的反射特性。