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Keywords: krf激光放大器,能量沉积,膜寿命
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?天光一号预放大器是φ12cm口径的电子束双向泵浦krf激光双程放大器。通过调整二极管阴阳极间距,获得了从marx发生器到二极管的最大能量传输效率和较小的后脉冲。研究了不同阳极材料和气室中不同气压下,电子束在气室中的能量沉积以及阳极膜和压力膜的寿命,并分析了膜损伤原因,将预放大器的实验条件进行优化,使预放大器能长期稳定的工作。
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