金刚石刀具nm级表面轮廓质量多参数集成测量方法

？为有效解决金刚石刀具表面轮廓质量评价指标分散、无法进行全面系统测量的难题，基于原子力显微镜和超精密回转轴系，提出了实现前后刀面粗糙度、刃口锋利度和刃口微豁三个关键指标的集成测量方法。根据金刚石刀具表面轮廓质量的测量要求，以原子力显微镜扫描系统、气浮隔振平台、二维移动平台以及精密回转轴系为基础构建测量系统，精确测量了金刚石刀具刃口附近的表面微观形貌；采用基于matlab开发的专用测量软件对原始数据进行处理，得到金刚石刀具前后刀面粗糙度值、刃口锋利度值和刃口微豁范围；并对测量误差进行了分析，提出了控制要求。通过上述自主开发的测量仪器，可以高效、完整地描述金刚石刀具表面轮廓质量，能够实现nm级粗糙度、亚μm级锋利度以及μm级微豁的准确测量。