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ISSN: 2333-9721
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脉冲金属氢化物真空弧放电等离子体发射光谱特性

Keywords: 发射光谱,光谱拟合,真空弧放电,金属氢化物

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Abstract:

?利用发射光谱方法对真空弧离子源放电等离子体特性进行了诊断。同时,基于局域热力学平衡等离子体的发射光谱理论,建立了等离子体的发射光谱拟合模型,对真空弧放电等离子体光谱进行了分析。针对tih真空弧离子源,分别对330~340nm与498~503nm范围内ti+离子与ti原子的发射光谱进行了对比拟合,获得了较好的符合度,解决了传统boltzmann斜率法计算等离子体温度需要孤立的不受附近谱线干扰的线状光谱的困难。最后,利用该方法计算了真空弧离子源在不同放电条件下的等离子体发射光谱、等离子体密度与温度参数。结果表明,tih真空弧放电等离子体温度在1ev左右,同时,放电所产生的氢原子要远远大于金属原子,并且随着真空弧离子源馈入功率的增加,tih电极中解吸附出来的氢比蒸发出来的金属增加得更多,这有利于tih离子源在中子发生器方面的应用。

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