板条nd:yag晶体的合成盘抛光技术

？针对高功率板条激光器核心工作器件——板条nd:yag晶体的超精密加工开展研究，分析了具有特殊构型的板条nd:yag晶体元件的加工性能及工艺难点，提出了一种新的基于合成盘抛光的板条nd:yag晶体加工工艺，并对规格为100mm×30mm×3mm的板条nd:yag晶体进行了加工实验。实验结果表明，合成盘抛光可以很好地控制元件的塌边现象；通过磨料的优化选择，在合成盘抛光工艺中匹配合适粒度的al2o3磨料能够实现元件的低缺陷加工，元件下盘后的全反射面平面度达0.217λ(1λ=632.8nm)，端面平面度达到0.06λ，表面粗糙度达0.55nm（rms），端面楔角精度可达2″。