sio₂内保护层对lib₃o₅晶体倍频增透膜损伤阈值的影响

？利用离子辅助电子束沉积方法在lib3o5基底上镀制了不加sio2内保护层和加sio2内保护层的倍频增透膜，测量了两类薄膜在波长1064nm多脉冲辐照下的激光损伤阈值，获得了两种不同的损伤形貌，并对损伤原因作了初步探讨。实验结果表明：保护层的加入把由基底膜层界面缺陷吸收所决定的阈值改变到由hfo2膜层内缺陷吸收所决定的阈值，显著提高了倍频增透膜的抗激光损伤能力。