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ISSN: 2333-9721
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高场强下半导体沿面闪络现象的研究进展

, PP. 0-0

Keywords: 半导体,沿面闪络,热过程,细丝电流,气体解吸附

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Abstract:

?综述了国内外半导体沿面闪络的研究现状,阐述了电极结构的类型和影响闪络的主要因素;根据自定义的等值电导参数将闪络的发展划分为欧姆电导、局部闪络和贯通闪络3个阶段;通过对表面细丝电流的热过程进行实验和仿真研究,认为表面细丝电流通道的温度可以接近材料熔点,这一结果同时也支持了表面发热导致气体分子解吸附的假设;进一步通过气体解吸附的实验初步确定了存在外部的闪络通道。

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