sio₂/ch/au复合黑腔诊断孔电火花加工技术

？通过电火花加工技术,采用含碳较高的煤油作为电介质,利用导电性能及加工性能较好的紫铜作电极材料,实现了sio2/ch/au复合黑腔侧表面方形诊断孔的精密加工。采用olympusstm6测量显微镜对诊断孔尺寸,结果表明：孔的尺寸加工精度可控制在±10μm内,同一电极加工的诊断孔尺寸一致性可控制在±5μm内。采用扫描电镜能谱分析sio2/ch/au加工导电层的成分,结果表明:电火花加工过程中,由于电介质分解生成游离态的碳以及电极材料铜熔融后沉积在ch和sio2层表面,形成辅助导电层。通过加工辅助导电层,产生的瞬时高温使sio2和ch层熔融气化,从而实现对绝缘层的加工。