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ISSN: 2333-9721
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非对称结构大功率940nm量子阱激光器

Keywords: 量子阱激光器,大功率,非对称结构,ingaas/gaas,金属有机物化学气相沉积

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Abstract:

?为改善940nm大功率ingaas/gaas半导体激光器输出特性,通过模拟计算了非对称波导层及限制层结构的光场分布,并参照模拟制作了非对称结构半导体激光器器件。采用低压金属有机物气相沉积(lp-mocvd)生长技术,获得了低内吸收系数的高质量外延材料,通过实验数据计算得到激光器材料内吸收系数仅为0.44mm-1。进而通过管芯工艺制作了条宽100μm、腔长2000μm的940nm半导体激光器器件。25℃室温10a直流连续(cw)测试镀膜后器件阈值电流251ma,斜率效率1.22w/a,最大输出功率达到9.6w,最大光电转化效率超过70%。

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