一种用于yb:yag激光器的波长分离膜的研制

？以1030nm高反，940，980nm高透的波长分离膜作为实例，为提高该薄膜元件的波长分离效果，从膜系的优化方面做了一系列的研究，诸如采用带通滤光片的设计思想，在膜堆两侧加入了匹配层，调整膜堆的周期厚度，并用膜系设计软件对通带作进一步的优化。通过这一系列的优化设计后，利用rf双离子束溅射工艺在bk7玻璃基底上沉积样品薄膜，并在基底背面加镀通带增透膜。结果显示，透射带在940和980nm处的透过率分别为97.73%和93.63%，反射带在1030nm的反射率为99.99%。对所制备的样品薄膜进行了激光损伤阈值测量，得到了35j/cm2（1064nm,12ns）的结果。