lbo晶体上zro₂薄膜的显微结构和光学性质

？用电子束蒸发方法在三种不同取向的三硼酸锂（lib3o5，简称lbo）晶体上沉积了zro2薄膜。采用分光光度计和x射线衍射技术对lbo晶体基底结构对薄膜光学性质和显微结构的影响进行了研究。实验结果表明：基底结构对薄膜的显微结构和光学性质具有明显影响，即x-lbo，y-lbo和z-lbo上沉积的zro2薄膜分别沿m(－212)，m(021)和o(130)择优生长，且m(021)择优取向的zro2薄膜具有最高的折射率和最小的晶格不匹配。