强激光反射镜基体材料的热畸变特性有限元分析

？利用有限元方法数值模拟了单晶硅（si）、铜（cu）、钨(w)、氧化铍(beo)等镜体材料的热畸变特性。结果表明：当入射激光功率为2kw、镜面反射率为93%、光斑直径为17mm、激光照射时间为10s时，四种材料基板的中心最大热变形分别为0.984，3.32，1.55，1.88μm。相比之下，si镜的热变形最小，是比较理想的镜体材料；cu镜的热变形最大；w和beo两种材料的镜热变形介于si镜和cu镜之间，具有较高的强度和硬度，抗破坏能力较强。