单甲基原位改性sio₂疏水减反膜的制备与性能研究

？在碱性条件下通过teos和mtes的共水解缩聚反应制备了单甲基原位改性的sio2溶胶，并使用提拉法在k9玻璃基片上镀制了疏水减反膜。通过透射电镜（tem）考察了镀膜溶胶的微结构，分别使用红外光谱（ftir）分析了薄膜的组分，用原子力显微镜（afm）观察了薄膜的表面形貌和起伏状况，用紫外可见光谱（uv-vis）考察了薄膜的减反射性能，用接触角仪测量了薄膜对水的接触角。并使用“r-on-1”的方式测量了薄膜在nd:yag激光（1064nm，1ns）作用下的损伤阈值。结果表明，通过共水解缩聚反应可以把甲基引入镀膜溶胶簇团中，改善了溶胶簇团的网络结构，使薄膜得到相当好的疏水性能和更好的抗激光损伤性能，同时薄膜能保持较好的减反射性能。