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ISSN: 2333-9721
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以环形子孔径法检测大口径非球面主镜的研究进展

, PP. 0-0

Keywords: 光学测量,干涉计量,大口径非球面,环形子孔径,拼接算法

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Abstract:

?环形子孔径法是一种无需辅助元件就能实现对大口径、大相对口径非球面检测的“柔性”测试技术。介绍了该技术的工作原理,对两种分别基于测量相位值和zernike多项式系数的拼接算法进行了仿真分析,并进行了初步的原理性实验验证。结果表明该技术是切实可行的,具有检测大口径非球面镜的潜能。最后,在对现有研究结果综合分析的基础上,提出了应用该技术检测m量级非球面主镜的实验方案。

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