连续激光辐照下二氧化钒薄膜热致相变实验研究

？介绍了vo2薄膜的相变原理，用磁控离子溅射法制备了vo2薄膜，并进行了x射线衍射和不同温度下的光谱透过率测量。在1.319μm连续波激光辐照下，实时测量了vo2薄膜的温度变化，以及由于温度变化引起相变后对激光透过率的变化。结果表明，入射到薄膜表面的平均功率为8.9w、光斑直径2mm时，激光出光480ms后，vo2的温度从室温上升到约100℃，薄膜发生了相变，其对1.319μm激光的透过率从相变前的48％降为相变后的28％。