聚苯乙烯薄膜对自支撑锆薄膜的性能改善

？利用直流磁控溅射方法和提拉法制备了自支撑zr/c8h8复合滤光膜和c8h8滤光膜。用同步辐射光源测量了滤光膜对软x射线的透射率，用俄歇电子能谱分析了膜中的元素含量。结果表明，虽然c8h8薄膜的加入在一定程度上降低了zr滤光膜在软x射线波段的透射率，但较好地阻止了存储和使用过程中氧、氮等杂质对zr金属膜的入侵，有效地改善了滤光膜的环境稳定性；同时很好地改善了zr滤光膜的力学性能和表面面形，使制备的成品率提高了20%。