电子束蒸发法制备zro₂薄膜的相变模型分析

？用电子束蒸发方法制备了纯的zro2薄膜和含y2o3摩尔分数为7%和13%的zro2薄膜，即ysz薄膜，通过测定薄膜的损伤阈值来验证温度诱导相变模型；并用x射线衍射（xrd）来测定zro2和ysz镀膜材料和薄膜的结构特征。结果表明：zro2镀膜材料和薄膜室温下都表现为单斜相，ysz镀膜材料和薄膜室温下都以立方相存在；ysz薄膜的损伤阈值远高于zro2薄膜的损伤阈值，这是因为添加y2o3后的ysz材料的相比较稳定，在蒸发过程中不会发生相变，而zro2材料则发生相变，产生缺陷，缺陷在激光作用下成为吸收中心和初始破坏点，导致zro2薄膜的损伤阈值降低。