分布式电极连续面型微变形反射镜力电耦合特性分析

？针对基于mems技术制造的连续面型薄膜微变形反射镜，从薄膜理论出发对其力电耦合变形特性进行理论分析，导出了镜面变形表达式。利用该式及响应频率表达式，定量分析了镜面相关尺寸参数对变形量的关系，为变形镜的结构设计提供了可靠的理论依据。结果表明，当镜面厚度为1μm且与驱动电极间距20μm时，对控制电压不超过120v，响应频率大于50khz的应用场合，变形镜镜面半径应在2.1～13.8mm之间进行选择。仿真结果显示，驱动电压较小时，镜面变形与驱动电压平方近似成线性关系。