140ghz带状注弯折波导su-8工艺与传输特性(英)

？？对140ghz带状注弯折波导的色散特性和耦合阻抗进行了仿真。cst微波工作室的仿真表明该波导在140ghz时，波导内电磁波的轴向相速度为0.227c，且140ghz频率附近色散特性平坦。波导的耦合阻抗在140ghz时为5ω左右。cst粒子工作室注波互作用的仿真结果表明该弯折波导在140ghz处的功率增益为24.6db。该弯折波导带状电子注的设计保证了该波导的加工工艺与mems微加工工艺兼容。通过su-8uv-liga工艺实现了对该波导的微型加工。测试结果表明该波导的反射损耗s11与插入损耗s21分别为-28db和-1.2db。实测的输出功率增益达到23db。测试结果和仿真结果的一致性表明该弯折波导设计的合理性，同时也验证了多步su-8uv-liga工艺可以实现对该波导的高精度加工。？