基于parylenec的单触发开关性能实验研究

？为了研制具有高导通电流和高导通速率能力的单触发开关,利用微加工技术制备了基于parylenec的三明治结构单触发开关。在主回路充电电压1.0~1.6kv的范围内,分析了开关触发回路电流、电压特性,导通峰值电流、上升时间、开关延迟时间,并且对单触发开关的电感、电阻做了估算。结果表明,基于parylenec的单触发开关性能优于基于聚酰亚胺的单触发开关；随着开关加载电压的升高,开关导通的峰值电流呈现不断增大的趋势,但是上升时间几乎不变,其延迟时间分布在1~200μs之间,呈随机性分布,开关电阻随其作用时间增加不断增大。