化学气相沉积-氧化烧结法制备惯性约束聚变靶用空心玻璃微球

？为实现惯性约束聚变靶用空心玻璃微球直径、壁厚的可控，采用等离子体辉光放电聚合技术，以四甲基硅烷为掺杂气源，对化学气相沉积-氧化烧结法制备空心玻璃微球（hgm）这一制备方法进行了探索。实验结果表明：制备直径为400~600μm、壁厚为5~15μm的hgm，原子分数为5%是一个较合适的掺硅量，成功将微球直径和壁厚的收缩量控制在38%左右；玻璃化后样品中c含量明显降低，主要以c—si键合形式存在，而si含量相对增加，主要以si—o键合形式存在；预充1.23×106pa氘气的微球，96h后球内剩余气压依然高达72.95%。