hf酸腐蚀提高k9基板损伤阈值

？针对k9玻璃基板的hf酸化学腐蚀工艺开展研究,标定了40%和2%高低两种体积分数的hf酸的腐蚀速率；分析了基板表面形貌随腐蚀深度的变化规律；研究了腐蚀时间、hf酸体积分数、超声波工艺对激光损伤阈值的影响,提出了能够有效减少损伤敏感的氟硅盐沉淀、提高损伤阈值的优化腐蚀清洗工艺流程。采用优化的腐蚀清洗工艺流程进行了实验验证,结果表明用体积分数为2%的hf酸在高温和超声波条件下腐蚀90s后,测得1064nm波长激光作用下k9基板抗激光损伤阈值提高了75%。