ybf₃沉积速率对红外激光薄膜表面缺陷的影响

？在介绍了薄膜缺陷的特点及成因的基础上，分析了ybf3沉积速率对红外激光薄膜表面缺陷密度的影响，得出了镀制激光薄膜所需的合适速率。结果表明：薄膜表面缺陷主要以节瘤缺陷与陷穴缺陷为主，其缺陷密度随ybf3沉积速率的减小基本表现为减小的趋势，当zns沉积速率约为0.2nm/s，ybf3沉积速率约为0.4nm/s时，可得到比较满意的激光薄膜，薄膜表面缺陷密度仅为0.000675。