重温pb(zrxti1-x)o3铁电薄膜极化疲劳问题
, PP. 0-0
Keywords: pzt铁电薄膜,极化疲劳,缺陷,长程迁移
Abstract:
？具有abo3型钙钛矿结构的pb(zrxti1-x)o3(pzt)展示出良好的铁电极化性能，是使用最广的铁电材料.然而，在将它应用于铁电存储时，pzt薄膜遭遇到极化疲劳问题而被srbi2ta2o9(sbt)等铁电体所替代，这一问题至今未能得到妥善解决.文章首先通过变温极化疲劳实验充分理解pzt极化疲劳的基本过程，然后有针对性地进行材料设计，获得基本无极化疲劳的pzt铁电薄膜.
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