离子束增强沉积在材料表面改性和优化方面的应用

？本文概要介绍离子束增强沉积材料表面改性和优化技术的原理及设备，列举其在改善材料表面机械性能、光学性能、电磁学性能、抗化学腐蚀性能以及增强薄膜的粘着力等方面的应用．