表面和界面电子显微学

？电子显微镜经过五十多年的发展，目前的性能已经达到空间点分辨率优于0.2ｎｍ，微衍射和微分析的空间分辨率优于2ｎｍ．利用这些性能，电子显微学得到了广泛的发展[1]．本文要介绍的是近十年来表面和界面电子显微学的进展．表面电子显微学的发展是和超高真空技术的普及分不开的．比较简便的办法是将超高真空机组联到电镜试样室[2,3],使试样室达到超高真空，有的实验室还同时装上蒸发装置用来原位观察薄膜生长过程．更好的办法....