双重预电离准分子激光器

？准分子激光器是强紫外输出的高效率器件，由于它在激光化学、大规模集成电路及生物领域内的应用价值，已受到普遍重视．当前国内已有一些器件逐渐开始走出实验室，但某些性能还不够理想，有待进一步改进．双重预电离准分子激光器的研制对提高器件的性能有着直接的或间接的意义．因为在准分子激光器中预电离的效果对器件的性能影响很大，电晕和紫外双重预电离技术可以得到比较充分的预电离，使激光腔中高气压大体积放电更为均匀?...