大气压辉光放电研究现状及应用前景

？大气压辉光放电由于均匀性好、能量效率高并且不需要真空系统，正日益受到人们重视和研究.文章综述了大气压辉光放电的研究进展，包括实验条件、放电特征、放电机理以及最新的诊断方法，还介绍它在薄膜沉积、材料表面改性、污染物质的消毒去污等方面的应用前景.