分子束外延设备的微机控制系统

？分子束外延设备是发展分子束外延技术的大型仪器．它用于生长新型的薄膜材料，以研究新材料、新器件、新效应．国产分子束外延设备经过几年的努力，已达到较高水平，但是要提高其性能，特别是为生长超晶格材料，计算机的控制是不可缺少的．我们为国产的分子束外延设备研制了第一台微机控制系统．微机控制系统解决了分子束外延设备最重要的两个部分的控制劫能八个加热炉的炉温控制和五个加热炉快门的开、关控制．此处采用ａｐ?...