激光蒸发淀积高tc超导薄膜

？本文简要介绍激光蒸发淀积高ｔｃ超导薄膜技术的基本原理．主要工艺特点，各种激光器在制备高ｔｃ超导薄膜中的应用及所取得的重要成果．