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ISSN: 2333-9721
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物理  1995 

薄膜物理及其应用讲座第八讲激光分子束外延──一种研制薄膜的先进方法

, PP. 0-0

Keywords: 激光分子束外延,单原子层,多层膜,超晶格

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Abstract:

?激光分子束外延薄膜,是近年发展起来的、以原子层、原胞层尺度研制薄膜的新技术、新方法。本文简要地介绍激光分子束外延的工作原理、特点与优势、以及国内外的研究动态。

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