离子探针质谱微分析(ⅰ):物理基础

？一、引言如果说五十年代初出现的电子探针微分析标志着固体材料成份分析技术的一个重要变革，即实现了成份的数量特征和空间特征在显微尺度上的结合。那么这种变革由于七十年代开始的离子探针的发展而推进到新的高度．典型的离子探针仪器继承了电子探针的概念。只不过以离子束代替了电子束．以二次离子质谱计代替了ｘ射线分析器．在这种仪器中，双等离子枪（ｄｕｏｐｌａｓｍａｔｒｏｎ）提供了一个能量分散小、亮度足够大的离?...