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Keywords: 飞秒激光,微构造,“黑硅”
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?在sf6气体氛围内用飞秒激光照射硅表面,可在硅表面产生准规则排列的微米量级尖峰结构,形成“黑硅”新材料.初步研究表明,这种“黑硅”新材料对波长为250—2500nm的光波有大于90%的吸收,同时它还具有相当好的场致发射特性.由于具有这些奇特的光电性质,这种表面微构造的硅材料在光电探测器、太阳能电池、平板显示器等器件制造领域有着重要的潜在应用价值.
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