脉冲激光沉积动力学研究进展

？脉冲激光沉积技术是现代常用的先进薄膜材料制备技术之一.文章在简要介绍脉冲激光沉积技术及其进展的基础上，较全面地介绍了脉冲激光沉积动力学的基本物理图像和动力学构架，深入地探讨了激光烧蚀靶材过程、等离子体膨胀过程和薄膜沉积过程的动力学规律，阐述了我国学者在脉冲激光沉积动力学研究方面的贡献，例如包括脉冲激光沉积三个工艺过程自洽的统一模型，等离子体膨胀的冲击波模型，基于局域能量动量守恒定律的新等离子体演化动力学模型，包括热源项、蒸发项、等离子体屏蔽效应和动态物性参数的烧蚀热传导模型，考虑电子碰撞效应和能带结构变化的修正双温模型，能统一描写从纳秒级到飞秒级脉冲激光烧蚀规律的统一双温模型等.