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ISSN: 2333-9721
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物理  1985 

离子注入强化金属表面的作用机制

, PP. 0-0

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Abstract:

?离子注入技术是将高能束流的离子(一般为几十一几百kev)注入到固体材料的表面,从而改变材料表层的物理、化学和机械性能的一种新方法.早期,离子注入技术用于半导体器件的掺杂,大大促进了微电子学的发展.近年来,离子注入技术迅速地扩大应用到固体物理和材料科学的许多领域,如非晶态、超导、磁泡材料、集成光学材料等,成为一种重要的研究手段,并获得日益广泛的应用.离子注入技术作为金属表面处理的一种新方法,可?...

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