微离子束技术及其在微细加工中的应用

？二十多年前，著名的美国物理学家费曼说过如果微细加工技术能加工线度８ｎｍ的图形，就可以把二十四卷《大英百科全书》刻在一个针尖上．今天，他的预言正在变成现实，微离子束的束斑直径已达到１０ｎｍ．由于计算机和空间技术的需要，微电子学迅速发展，集成电路的集成度越来越高，目前已制成５１２ｋ的ｒｏｍ．要求微细加工的线度在亚微米量级（图１）．早在１９５４年，ｗ，ｓｈｏｃｋｌｅｙ在提出离子掺杂工艺时就设想用?...