扫描隧道显微镜在工业上的一些应用

？用扫描隧道显微镜［１－３］（ｓｔｍ）探测原子量级的表面结构，是大家熟知的．除了观察材料表面的原子和分子外，在工业上人们常用ｓｔｍ来研究样晶的表面特征，扫描范围可以从０．０１μｍ到２００．００μｍ．．这样的分辨率，扫描电镜（ｓｅｍ）也能达到．不过，ｓｅｍ测不出ｚ方向的微小距离，而ｓｔｍ却可保持在ｚ方向有较高的分辨率．因此，在工业上用ｓｔｍ观察在ｚ方向有微小高差特征的表面结构，例如光滑轴承表面的?...