光电子学与光电子产业专题系列介绍用于x射线光学的多层膜

？用于ｘ射线，特别是软ｘ射线（波长范围约为３０－１ｎｍ）光学中的多层膜近十年来引起了人们的广泛重视，取得了许多重要进展．本文对这类多层膜的特点、制备和检测方法以及应用等作简要介绍．