国产氩离子枪的研发

？氩离子枪主要由离子源、加速电极、聚焦透镜和控制电源构成，可以产生并发射氩离子束，用于样品的表面清洁处理、表面刻蚀或深度分析，是表面分析和纳米科技装置中的重要构成之一。文章介绍国产氩离子枪的设计原理和测试结果，氩离子的加速电压可达2kv，在工作距离150mm和氩气分压为2.0×10-3pa的情况下，可产生4.5ma的氩离子束流，束斑的直径在10—20mm之间可调。