脉冲高能量密度等离子体材料表面改性及其应用

？脉冲高能量密度等离子体（pulsedhighenergydensityplasma,phedp）是一项新的材料表面改性技术.它集高电子温度、高能量密度、高定向速度于一身,在制备薄膜时具有沉积薄膜的温度低、沉积效率高、能量利用率高的优点，并兼具表面溅射、离子注入、冲击波和强淬火效应等综合效应；它可以制备纳米晶或非晶硬质薄膜，提高基底材料的表面硬度和耐磨、耐蚀性能；能够实现非金属材料表面金属化，所制备薄膜与基底之间存在很宽的混合过渡区，因此膜/基结合良好.文章主要介绍了作者近年来在该领域的部分研究成果，简要介绍了脉冲高能量密度等离子体的原理、特点及应用.分析了脉冲等离子体与材料相互作用的基本物理现象.