物理学研究与微电子科学技术的发展

？回顾了微电子学的诞生和微电子技术的发展历史，展望了微电子技术未来的发展趋势.在微电子技术诞生和发展过程中具有一些里程碑式的发明，如晶体管、集成电路、集成电路平面工艺、mos器件、微处理器、光刻技术、铜互连工艺的发明等，其中物理学研究和突破起了关键的基础作用.在社会需求、物理学研究和技术进步的推动下，微电子技术一直并将继续以特征尺寸缩小、集成度提高的模式，按摩尔定律预测的指数增长率发展.微电子技术的发展，不仅为物理学的研究提供了崭新的技术基础，而且为物理学研究展现了更为广阔的空间.但随着器件特征尺寸逐渐缩小并逼近其物理极限，微电子技术的发展将受到来自于材料、工艺和物理基础等方面的挑战，并呈现出多维发展的趋势，这些挑战涉及了微电子学与物理学的共同理论基础，需要二者互相锲合，期待新的突破.