硅中磷、硼浓度的测量方法

？在电子工业中，硅是重要的半导体材料，而磷、硼分别是它的施主杂质和受主杂质，因此，研究磷、硼等元素在硅片中的浓度分布，是电子工业生产中感兴趣的问题．本文介绍一种用带电粒子核反应分析这些元素的方法．这种分析方法对轻元素有较高的灵敏度，可测量杂质元素的浓度分布，并且有较高的深度分辨本领．此外，用核反应方法分析微量元素时，还不受被分析元素的物理或化学状态的影响，同时具有非破坏性、快速、直观等特点，所?...