离子轰击减薄装置及其应用

？对材料作显微观察分析时，需要对材料表面腐蚀或将材料减簿．因为腐蚀之后所显示的腐蚀图象，在一定程度上反应材料的组织和结构．在用透射电子显微镜观察材料内部组织和结构时，需要将材料减薄，制成数千埃至数万埃厚度的薄样品．近年来常用离子轰击方法腐蚀或减薄样品，离子轰击减薄方法能减薄其它方法难以减薄的材料，如多相材料、硬的脆的材料、烧结多孔材料，以及橡胶、高分子、生物等．离子轰击方法也可用于制备电子显微?...